微電子技術是隨著集成電路，尤其是超大型規模集成電路而發展起來的一門新的技術。其主要特點為超精細加工，生產環境要求高，動力消耗大，投資巨大，工程復雜。

　　

　　隨著生產工藝的不斷發展，微電子工業對環境及其配套工程的要求越來越嚴格，其產品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環境的潔凈度，對潔凈空調技術的要求也越來越高。

　　

　　國祥深耕電子凈化領域多年，針對不同的產品、生產規模、功能分區提供多元化潔凈解決方案。

 

　　PART.01? 大型微電子凈化車間空調方案

　　集成電路(IC)、平板顯示器工廠生產車間龐大，空調通風量往往幾百萬甚至上千萬m³/h，能耗極大。氣載化學污染物對集成電路生產的影響，比空氣中懸浮物要廣泛和復雜的多。因此微電子行業的潔凈空調系統，不光要去除顆粒污染物，還要去除化學污染物。

　　

　　1.組合式空氣處理機組

　　風量：1000～32萬m³/h　　

　　● 由混合、過濾、冷卻、加熱、加濕、除濕、熱回收、消毒的等空氣處理功能段組合，可實現對空調區域內空氣的溫度、濕度、潔凈度的處理和控制，以實現空調系統集中送風；　　

　　● 機組箱體采用榫頭雙柱箱體專利設計，保證機組超高強度、超低漏風率；　　

　　● 國家級測試中心漏風率報告，漏風率僅0.03%，　　

　　● 機組配置超低漏風且安全泄壓專利檢修門，機組冷橋因子和傳熱系數達歐標TB1/T1要求；　　

　　● 機組以卓越的性能順利通過德國TUV測試認證，品質得到了國內外廣泛認可。

　　

　　2.干盤管

　　風量：1000～10000 m³ /h　　

　　● 溫濕度、潔凈度獨立控制；　　

　　● 結構精巧，性能優越；　　

　　● 采用專利換熱鱗片，空氣阻力低；　　

　　● 每臺出廠前都經過12~14MPa的水壓試驗，性能穩定可靠。

　　

　　3.磁懸浮變頻離心式冷水機組M-plus+

　　冷媒：R134a　　

　　制冷量：984.8～3517.0kW　　

　　● 由磁懸浮變頻壓縮機、經濟器、降膜式蒸發器、強過冷冷凝器等部件組成，其滿載性能系數高達6.75、綜合部分負荷性能系數高達11.85，全負荷范圍內均具有超一流的運行能效；　　

　　● 無油運轉，維護簡單，整個生命周期內性能無衰減；　　

　　● 運轉安靜，僅70dB(A)左右。

　　

　　PART.02? 中小型電子凈化車間空調方案

　　印刷電路板(PCB)的生產、電子產品的裝配等凈化車間，通常規模相對較小。

　　

　　1.直流變頻直膨式空調機組

　　冷媒：R410a　　

　　制冷量：25.2~224 kW　　

　　● 空氣處理部分采用專利榫頭雙柱結構，機組漏風率僅為0.03%。機組采用面板直接拼裝結構，面板內部為高密度聚氨酯發泡，確保面板有足夠的強度；　　

　　● 機組內表面光滑平整，不易積灰，無二次污染，適合凈化場所使用；　　

　　● 全新高壓腔直流變頻壓縮機實現電機的高效運轉特別在低速、低壓比時效率更高，更節能，滿足機組的全工況運行;冷凝風機采用無刷直流電機，效率較普通電機高35%，同時可根據系統壓力變化調整轉速，保證系統處于最佳運行狀態；　　

　　● 柔性渦旋壓縮機可承受一定程度液壓縮，延長使用壽命；內置浮動渦旋盤可自動泄壓，避免渦旋盤損壞提升了壓縮機可靠性;兩次過冷技術增加了液態冷媒過冷度，降低了管道流動阻力，增加允許配管的長度，提升了電子膨脹閥的穩定性；　　

　　● 直流變頻技術，制冷能力根據負荷無級調節，溫濕度控制精準，波動小。

　　

　　2.滿溢式螺桿冷水機組

　　冷媒：R22/R134a　　

　　制冷量：275～3600kW（R22）　

　　245～3000kW（R134a）　

　　熱回收：83～1080kW（R22）（可選）　　

　　● 主要用來為中央空調工程和工業生產提供集中冷源，同時根據客戶需求可提供清潔熱水；廣泛應用于軌道交通、賓館、飯店、學校、商場、辦公樓、醫院等空調場所，也可用于核電、塑料化工、精密儀器等工藝冷卻過程。

　　

　　3.模塊式風冷熱泵

　　冷媒：R410a　　

　　制冷量：50.5～2096kW　　

　　● 采用最新全密閉渦旋式壓縮機，噪聲低、振動小且能效比高；　　

　　● 模塊化設計，可分級啟動以減少對電網的瞬間沖擊，節省電能；　　

　　● 每個模塊均有獨立的框架結構，制冷系統和控制保護系統，各模塊單元以步進方式達到空調所需的負荷容量，任何模塊單元發生故障時并不影響其他模塊單元的正常工作。

　　

　　PART.03? 常年制冷

　　電子凈化車間由于維護結構保溫性能好，功能分區多，車間內設備發熱量大，通常處于廠房中部的房間，即使在春秋季甚至冬季，也需要制冷降溫。

　　

　　風冷大渦漩冷水機組

　　冷媒：R410a　　

　　制冷量：230～3680kW　　

　　● 模塊化設計，可分級啟動以減少對電網的瞬間沖擊，節省電能；　　

　　● 每個模塊均有獨立的框架結構，制冷系統和控制保護系統，各模塊單元以步進方式達到空調所需的負荷容量，任何模塊單元發生故障時并不影響其他模塊單元的正常工作。